光学测微原理
要读出1微米甚至更微小的位移量可以采用各种方式,
但首先要把位移量放大,然后再将量值读得。
图2-1示出的是一个普通机械杠杆的放大指示装管。
杆机械先把测头的位移变成杠杆的转动,然后在长臂的未牌
指示出来。假如在杠杆长臂的末端接上另一杠杆的短隙,黄
能得到更大的放大倍数。机械式测微表就是这种结构(有时
采用具有类似放大作用的齿轮传动)。这种测微表如果只用-
级放大机构,就不能获得很大的放大倍数:但放大机构级票
越多,传动间隙影响越大,示值可靠性越差。如果在江肝
处装一反射镜,如图2-2, 并在某一方向投入一束光A, 这
束光被反射在标尺上形成光斑。当测杆上下移动时,光斑在
标尺上的移动距离将比测杆的位移量大许多倍。这称之为
“光学杠杆”
一杠杆的一背是光束,因此,可以将长臂做得很长,以获得较大的
放大倍数。
光学杠杆的两臂长为I与L, 其放大倍数是L/1.
另外,由于使用了反射镜,光学杠杆还增加了一倍的放大
倍数。如图2-3, 当反射镜转过a角,它的法线N也转
动a角,到N, 位置,入射光束 A的反射光束的方向也从A'
转到A, A'与4; 之间的角度是Δ.
图2-3 光学杠杆获得较大
另版大倍数的原理
按反射定律
也就是说,当光学杠杆转动a角时,杠杆长臂(光束A') 转
2a 角,与机械杠杆比较额外加大一倍。
如图2-2这种形式的反射镜转动机构要求摆动轴线必须
通过反射面;同时,在撰动过程中不允许反射镜有附加的前
后窜动。否则会使光斑在刻尺上产生附加位移,造成仪器示
值误差。而采用自准直平行光管系统可以减免这些影响,提
高示值精度。