一、产品简介
SG-9500XM硅片检查显微镜主要用于太阳能电池硅片的观察。太阳能检测显微镜能生产高清晰的图像,立体感较强,成像较清晰视野宽阔,配置有长工作距离物镜,并具有较大的视场范围和相应的放大倍数, 配有高像素的工业相机,可以清晰的看到硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析,是太阳能电池硅片的普遍专用显微镜。单晶硅检测显微镜可以观察到肉眼难观测的大阳能晶体硅片检测、位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析。杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,会使磨片后的硅片易于发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格。显微检测几乎是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一。
二、产品特点
1.采用柯拉照明系统,配置优良的长工作距平场消色差物镜与大视野物镜,可提供卓越的光学性能;
2.产品主体采用“T”型防振结构设计使仪器更加稳固,适用于大试样的显微观察 ;
3.采用12V30W卤素灯照明(亮度可调),不仅能明视场观察,还能对偏光观察提供清晰鲜明的显微观察象;
4.产品造型美观,操作方便,是金属学、精密工程学、电子学等研究的理想仪器。
三、技术规格
1.光学系统:采用无限远效正光学系统。
2.目镜筒:三目铰链式,30 ?倾斜,瞳距55-75mm,可100%通光摄影。
3.平场目镜:带胶眼罩WF10X/22目镜,屈光度±5°可调
4.无限远长距平场物镜
放大倍数 |
数值孔径 |
工作距离(mm) |
PL L5X |
0.10 |
29.4 |
PL L10X |
0.25 |
16.0 |
PL L20X |
0.40 |
10.6 |
PL L50X |
0.55 |
5.1 |
5.转换器:四孔(内向式滚珠内定位)
6.调焦机构:粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置,微调0.0002mm
7.载物台,尺寸:180mm×150mm ,移动范围:横向(×)75mm,纵向(Y)50mm,带玻璃平台。
8.聚光镜:采用燕尾导轨齿轮齿条传动升降,NA.1.25 阿贝聚光镜带可变光栏和滤色片
9.照明系统:落射科勒照明,带孔径可变光栏和视场可变光栏,透射照明12V30W.AC85V230V亮度可调
10.偏光装置:检偏镜可360度转动,起偏镜检偏镜均可移出光路
11.滤色片:磨砂玻璃、蓝色滤色片、黄色滤色片、绿色滤色片
12.适配镜:直径:59mm,放大倍率:0.5倍 ,内调焦距:0~3mm 调焦后可锁紧
13.显微镜工业相机:图像传感器 1/2.5" 彩色500万CMOS;像素点尺寸:2.2μmx2.2m;分辨率:2592 x 1944;帧率:5fps全分辨率;灵敏度:1.4V/lux- sec(550nm);自动曝光控制: 8μs-375ms;信噪比: 44dB;扫描方式:逐行扫描;快门:电子快门;数据接口:USB2.0, 480Mb/s;白平衡:一键白平衡。
14.软件功能:图像显示、图像拍摄、录像和图象处理功能,可以对所摄图像进行文字
15.编辑,比例尺显示;超景深扩展;长度,角度,弧长测量;点,线,平行线,垂直测量;圆、椭圆测量;矩形,不规则形状的周长、面积、重心位置等几何参数量。
四、配置清单
1.检查显微镜 一台
2.WF10×高眼点平场目镜 一对
3.长距平场消色差物镜:5×、10×、20×、50× 一只
4.卤素灯12V/30W 二只
5.滤色片(黄、蓝、绿、磨砂玻璃) 一组
6.专用适配镜 一只
7.YH-5001像素工业相机 一只
8.校准尺0.01mm 一片
9.偏光装置 一套
10.产品说明书,合格证及保修卡 一份